证券时报e公司讯,盛美半导体设备(上海)股份有限公司今日在官微宣布,其2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管设备(PEALD)已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证,正在进行最后优化和为迈入量产做准备。盛美上海还宣布,其于2022年推出的Ultra Fn A热原子层沉积炉设备(Thermal ALD)也已成功通过另一家领先的中国大陆客户的工艺验证,性能参数比肩同类国际竞品,甚至更胜一筹。